AbuVakuuminis siurblys ir kompresoriusyra dujų apdorojimo įrenginiai, tačiau jų darbo principai ir taikymo sritis yra skirtingi.
Pagrindinė vakuuminio siurblio funkcija yra pašalinti dujas iš reakcijos kameros, kad būtų sumažintas slėgis talpykloje, kad būtų pasiektas iš anksto nustatytas vakuumo laipsnis. Dujos iš erdvės išgaunamos per siurbimą ir išmetimo mechanizmą, kad būtų suformuota vakuuminė būsena. Vakuuminiai siurbliai paprastai naudojami laboratorijose, gamybos ir gamybos laukuose. Vafliniuose Fabuose, ėsdinimo įrangoje, nusėdimo įrangoje, EUV litografijos įrangoje, jonų implantacijos įrangoje, aptikimo ir apibūdinimo įrangoje ir kt. Visus reikia išsiurbti.
Kompresoriaus funkcija yra įkvėpti dujas ir suspausti jas, padidinti dujų slėgį, suspausti dujas į mažesnį tūrį ir padidinti dujų tankį ir slėgį. Jo darbo principas yra suspausti dujas per išmetimo vožtuvą, o po to suspaustas dujas sudėti į dujų baką ar kitą įrangą. Kompresoriai paprastai naudojami perdirbimo ir gamybos laukuose. CDA dujas, apie kurias dažnai kalbame, pateikia kompresorius. CDA naudojamas įvairiai automatizavimo įrangai ir vožtuvams valdyti. Puslaidininkių gamybai CDA turi būti labai grynas ir sausas. Kompresoriaus oro išvestis turi praeiti per sudėtingą filtravimo sistemą, kad būtų pašalinta alyva, drėgmė ir kitos dalelės, kad būtų užtikrinta, jog vaflio užterštumas nėra.
Kokios yra kategorijosVakuuminis siurblys ir kompresorius?
Puslaidininkių įrangoje dažniausiai naudojami sausi ir molekuliniai siurbliai. Sausas siurblys nurodo vakuuminį siurblį, kuris nenaudoja jokio skysčio kaip sandarinimo ar aušinimo terpės, išvengiant alyvos garų užteršimo problemos. Paprastai jis naudojamas grubiam puslaidininkių įrangos vakuume. Molekuliniai siurbliai gali pasiekti ypač aukštą vakuumo lygį. Sausos siurbliai ir molekuliniai siurbliai dažnai naudojami kartu su puslaidininkių įranga, kad būtų patenkinti skirtingo vakuuminio lygio poreikiai.
Kompresorius galima padalyti į stūmoklį, varžtą, išcentrinius, sukamus mentės oro kompresorius ir kt.
Dėl skirtingų vakuuminio siurblio ir kompresoriaus dizaino ir darbo principų vakuuminiai siurbliai paprastai negali pakeisti kompresorių. Nors vakuuminiai siurbliai gali sumažinti dujų slėgį ir tankį, jie negali suspausti dujų į mažesnį tūrį ir didesnį slėgį. Be to, dėl ribotos vakuuminių siurblių veikimo ir darbinių savybių jie geriausiai tinka tvarkant mažo tankio dujas ir žemo slėgio aplinką.
Todėl, jei dujas reikia suspausti į mažesnį tūrį ir didesnį slėgį, reikia naudoti kompresorių. Priešingai, jei dujas reikia išgauti ir susidaro vakuuminė būsena, reikia naudoti vakuuminį siurblį.
Nors abuVakuuminis siurblys ir kompresoriusyra įrenginiai, naudojami dujoms apdoroti, yra labai skirtumai tarp projektavimo ir darbo principo. Nors vakuuminio siurblys gali sumažinti dujų slėgį ir tankį, jis negali pakeisti kompresoriaus, ypač kai dujas reikia suspausti į mažesnį tūrį ir didesnį slėgį.
